جزئیات محصول:
پرداخت:
|
Max. حداکثر Temperature درجه حرارت: | 1200 درجه سانتیگراد | دمای کاری: | بیش از 1100 درجه سانتیگراد نباشد |
---|---|---|---|
نرخ گرمایش: | 0-20 درجه سانتیگراد | یکنواختی دقت دما: | ±1℃ |
قطر لوله: | اندازه مشتری | عنصر گرمایش: | SiC یا سیم مقاومت |
کنترل دما: | 30 مرحله قابل برنامه ریزی و کنترل خودکار PID | ||
برجسته: | کوره لوله خلاء CVD,کوره لوله Cvd با دمای بالا,کوره لوله Cvd کنترل خودکار |
تایید CE Cvd Diamond Machine CVD Vacuum Tube Furnace, Gas Vacuum CVD Tube Furnace Cvd Tube Furnace
کوره CVD ما یک کوره لوله قابل تقسیم با لوله کوارتز قطر 50 میلی متر، دو ناحیه داغ، سیستم پمپ خلاء انتشار و سیستم جریان گاز جریان سنج جرمی چهار کانال است.این می تواند 1-4 نوع گاز را برای CVD یا انتشار مخلوط کند.
نمایش تولید:
مشخصات فنی:
مدل | XDEM-1200CVD | ||
بخش اول: کوره لوله | |||
کوره لوله
|
نمایش دادن | رهبری | |
محفظه - اتاق | نوع اسپلیت و قسمت بالایی قابل باز شدن است | ||
حداکثردرجه حرارت | 1200 ℃ برای مدت کوتاه | ||
دمای واکینگ مداوم | ≤1100℃ | ||
نرخ گرمایش | پیشنهاد: 0~10℃/min (حداکثر 20℃/min) | ||
منطقه دما | 220 + 220 میلی متر دو منطقه | ||
عنصر گرمایش | سیم مقاومت با Mo | ||
ترموکوپل | نوع K | ||
دقت کنترل دما | ±1℃ | ||
اندازه لوله | 50 × 1000 میلی متر (OD x حداقل L) | ||
کنترل دما | کنترل خودکار PID از طریق کنترل قدرت SCR | ||
منحنی های گرمایش | 30 مرحله قابل برنامه ریزی | ||
فلنج خلاء |
فلنج خلاء فولادی ضد زنگ با سوپاپ
|
||
قدرت | 220 ولت، 50 هرتز، تک فاز در حداکثر.3 کیلو وات | ||
بخش دوم: پمپ خلاء | |||
وکیوم پره دوار پمپ + خلاء لوازم جانبی پمپ + سبد خرید با چرخ
|
خلاء نهایی 10-3 Torr. و خلاء داخل لوله حدود 10-1 Torr است. سرعت جریان: 2L/S
|
||
بخش سوم: جریان سنج جرمی | |||
جریان سنج جرمی |
چهار دبی جرمی دقیق: MFC 1: محدوده جریان گاز از 0 تا 100 sccm MFC 2&3: محدوده کنترل از 0 تا 200 sccm MFC 4: محدوده جریان گاز از 0 تا 500sccm (یا با توجه به نیاز شما) یک مخزن اختلاط گاز بر روی کیس زیرین با شیر نصب شده است 4 سوپاپ سوزنی فولاد ضد زنگ در سمت چپ قاب پایینی نصب شده است تا مخلوط کردن 4 نوع گاز را به صورت دستی کنترل کند.
|
||
قسمت چهارم جاروبرقی دیجیتال Inficon | |||
Inficon |
3.8x10-5محدوده اندازه گیری Torr تا 1125 ضد خوردگی، مستقل از نوع گاز
|
بسته بندی و حمل و نقل:
جعبه چوبی با پلی فوم پر شده در داخل برای اطمینان از حمل و نقل ایمن.
بسته ها را می توان از طریق دریا، هوا، اکسپرس و غیره به درخواست مشتری ارسال کرد.
تماس با شخص: Mr. John Fang
تلفن: 86-13837786702